기본 성능

• ±2%의 온도 균일성을 실현
• 120초 이내에 133Pa 이하의 진공도에 도달

안전성

• 에어리어 센서를 4곳에 배치
• 녹핀을 사용한 기계적 잠금 기구 채용

조작성

• 원터치 클램프 방식(특허 취득 완료)을 통해
  

  다이어프램

  교환 시간 50% 절감

  작업 공수 85% 절감

  ※종래 방식과의 비교(사내 비교 실험)

유효 가공 면적